چگونه حسگرهای فشار تشدید سیلیکونی به اندازه گیری فشار با دقت بالا دست می یابند

حسگرهای فشار را بر اساس اصول عملکردی خود می‌توان به چند نوع دسته‌بندی کرد، از جمله انواع خازنی سرامیکی، خازنی فلزی، نازک-فیلم سنج، کرنش سنج، پیزومقاومت سیلیکونی، خازنی سیلیکونی و رزونانس سیلیکونی. در این میان، سنسورهای فشار تشدید بالاترین دقت را ارائه می‌دهند و دقتی را تا 0.01% FS در محدوده دمای کامل (-40 درجه تا 85 درجه) به دست می‌آورند. به دلیل دقت استثنایی، آنها به طور گسترده در کاربردهایی که نیاز به دقت فشار بسیار بالا دارند، مانند اندازه گیری عمق اقیانوس، استانداردهای مرجع فشار، اندازه گیری پارامترهای پرواز هواپیما و نظارت هواشناسی استفاده می شوند. دلایلی که چرا سنسورهای فشار تشدید سیلیکونی به چنین اندازه گیری فشار با دقت بالایی دست می یابند به شرح زیر است:

1. ساختار هسته یک حسگر فشار تشدید سیلیکونی یک تشدید کننده سیلیکونی دو گیره متقارن- است. فرکانس تشدید تشدید کننده با فشار اعمالی تغییر می کند. از آنجایی که فرکانس یک ویژگی ذاتی جامدات است، کمتر مستعد نویز با فرکانس پایین- است و حداقل تغییرات را با دما نشان می‌دهد. این اثر فیلتر طبیعی منجر به نسبت سیگنال-به-بالا می‌شود.

2. ساختار تشدیدگر مضاعف-تضمین می‌کند که وقتی تشدیدگر می‌لرزد، نیروی خارجی خالص صفر است. علاوه بر این، به دلیل استفاده از فناوری پیوند آندی MEMS، کل تشدید کننده در محیط خلاء کار می کند و به فاکتور کیفیت بالایی دست می یابد.

3. در طول فرآیند طراحی، سازه های تنش{1} در نواحی حساس به حرارت تشدید کننده گنجانده می شوند تا تنش حرارتی را به حداقل برسانند. این به طور قابل توجهی تنش حرارتی روی تشدید کننده را کاهش می دهد.

محصولات حسگر فشار تشدید سیلیکونی فناوری Xi'an Mihui به اندازه‌گیری فشار با دقت بالا{{0} با دقت 0.01٪ FS در محدوده دمای کامل دست می‌یابند. آنها پایداری سالانه بی نظیر 0.01% FS را ارائه می دهند و از خروجی فرکانس و خروجی دیجیتال RS485 پشتیبانی می کنند. این سنسورها اندازه گیری فشار مطلق از 100 کیلو پاسکال تا 1 مگاپاسکال را پوشش می دهند. مشخصات به شرح زیر است:

علاقه مندان می توانند از طریق اطلاعات ارائه شده در وب سایت ما با ما تماس بگیرند.