فن‌آوری اندازه‌گیری خلاء یک جزء حیاتی از علم و فناوری خلاء است که تقاضاهای روزافزونی در بخش‌های دفاعی و غیرنظامی دارد. اندازه گیری دقیق فشار خلاء از اهمیت ویژه ای برخوردار است. گیج های خلاء به طور گسترده در تولید صنعتی، تجهیزات نیمه هادی، صنایع هسته ای و سایر زمینه ها استفاده می شود. سازندگان مشهور جهانی گیج خلاء عبارتند از MKS Instruments و INFICON. دو نوع متداول گیج خلاء بر اساس اصول عملکرد آنها وجود دارد: یکی گیج خلاء ظرفیت فلزی است که با رویکرد فنی MKS نشان داده می شود و دیگری خلاء سنج خازنی سرامیکی است که با رویکرد فنی INFICON نشان داده می شود. به طور کلی، گیج‌های خلاء خازنی فلزی عملکرد بهتری نسبت به مدل‌های خازنی سرامیکی ارائه می‌دهند که باعث می‌شود آنها به طور گسترده‌تری مورد استفاده قرار گیرند.
عنصر حسگر خلاء سنج خازنی فلزی از یک ساختار خازنی تشکیل شده است که توسط یک دیافراگم فلزی با ضخامت تقریبی 40 میکرومتر و یک الکترود سرامیکی تشکیل شده است. همانطور که در شکل های بالا نشان داده شده است، دیافراگم فلزی قبل از جوشکاری با نیروی کششی زیادی کشیده می شود و ساختاری ایجاد می کند که قادر به تحمل فشار اضافه بار تا صدها برابر محدوده نامی است. هنگامی که فشار خلاء به دیافراگم اعمال می شود، تغییر شکل می دهد و ظرفیت بین الکترود دیافراگم فلزی و الکترود سرامیکی را تغییر می دهد. با اندازه گیری این تغییر ظرفیت و کالیبره کردن آن در برابر مراجع فشار خلاء استاندارد، مقدار خلاء مطلق را می توان تعیین کرد. برای بهبود دقت اندازه گیری، یک گیرنده در داخل حفره قرار می گیرد.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. به طور مستقل گیج خلاء VG750 را توسعه داده است و به عملکردی قابل مقایسه با محصولات MKS و INFICON دست یافته است. این محدوده اندازه گیری از 1 Torr تا 1000 Torr را پوشش می دهد و به طور گسترده در کاربردهای دسته ای در صنایع نیمه هادی و هسته ای مورد استفاده قرار گرفته است. مشخصات عملکرد آن در جدول زیر آمده است. علاقه مندان می توانند برای استفاده آزمایشی با ما تماس بگیرند.
برای اطلاعات بیشتر لطفا از وب سایت ما دیدن فرمایید:mihuitec.com، یا صفحه محصول را بررسی کنید: چین VG750 Metal Capacitive Diaphragm Gauge Manufacturers Suppliers Factory - نقل قول - Mihui Tech.
